小型微波萃取設備應用多的微波萃取裝置有多模腔體式和單模聚焦式兩種，工作頻率均為2450 MHz, 微波萃取設備的主要部件是制造的微波加熱裝置、萃取容器和根據不同要求配備的控壓、控溫裝置，對于密閉式微波萃取系統少應具有控壓裝置，有控溫和揮發性溶劑監測附件好。
   單模聚焦式微波萃取裝置可不用控壓和控溫，制樣量大，但不足之處是一次僅可制備一個樣品，萃取時間較長。它類似于傳統的Soxhlet提取，只是加熱所用能源為微波，萃取時間是多模腔體式微波方法的5一10倍。

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