柜式工業微波設備采用微波等離子體技術，進行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片；還可用于金屬、合金、非金屬的表面處理；用于等離子體光譜分析可檢測十幾種元素。微波生物效應分熱效應和非熱效應。其熱效應在方面可進行微波、配合放療和化療進行透熱治癌；另外還可以利用微波加熱血漿、解凍冷藏器官；還可設計微波手術刀，開刀止血快、出血量少。
    微波測量精度高，適宜于生產中連續測量和自動控制。已廣泛用于測距、測溫、測厚測速等方面。微波可進行陶瓷的均勻致密化燒結， 溫度可達2000℃，獲得大尺寸的精細陶瓷。

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